




ST系列鍍膜機
ST系列鍍膜機系我司標準化產(chǎn)品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點:1、集成一體化結(jié)構(gòu)。
2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后真空度:≤8Pa。
4、整機采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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蒸發(fā)鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜機的檢漏方法
真空鍍膜機廠家查看漏氣狀況是確保真空鍍膜機真空度的一項查看辦法,簡稱檢漏,真空度的凹凸是直接影響到鍍膜作用的,所以檢漏是必不可少的。
通常真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的銜接位細縫中發(fā)生,當(dāng)抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強降低,外部與內(nèi)部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內(nèi),形成真空度降低。
真空鍍膜機廠家介紹在檢漏的過程中,需求注意一些問題,才能把檢漏作業(yè)做好。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏作業(yè)是很主要的,形成真空度降低的緣由多種多樣,咱們要逐個的處理這些緣由,安穩(wěn)鍍膜的作用。
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